量检测设备:质量控制关键设备,国产替代多点开花——半导体前道设备系列之六
2023-09-26
量检测设备分为检测设备和量测设备,主要用于半导体前道和中道的质量控制环节。检测是指在晶圆表面上或电路结构中,检测其是否出现异质情况,如异物缺陷、气泡缺陷、颗粒缺陷等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。量测是指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述,如光刻套刻偏移量、薄膜厚度、三维形貌等物理性参数的量测。检测和量测所对应的检测设备和量测设备简称为量检测设备,应用于半导体前道晶圆制造和中道先进封装的质量控制环节。

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